電子芯片純水設(shè)備

電子芯片超純水設(shè)備概述：

電子芯片超純水對(duì)TOC、DO、SIO2、Particulate的控制嚴(yán)格，達(dá)到PPb級(jí)，產(chǎn)水水質(zhì)要求在18.2MΩ*cm(25℃)以上。

電子芯片超純水設(shè)備工藝流程：

①反滲透純水設(shè)備

RO反滲透膜的工作原理是對(duì)水施加一定的壓力，使水分子和離子態(tài)的礦物質(zhì)元素通過(guò)一層反滲透膜，而溶解在水中的絕大部分無(wú)機(jī)鹽(包括重金屬)、有機(jī)物以及細(xì)菌、病毒等無(wú)法透過(guò)反滲透膜，從而透過(guò)的純水和無(wú)法透過(guò)的濃縮水嚴(yán)格的分開;

反滲透膜上的孔徑只有0.0001um，而病毒的直徑一般有0.02-0.4um，普通細(xì)菌的直徑有0.4-1um。 反滲透純水機(jī)的正常工作有賴于一定的壓力，這個(gè)壓力大于滲透膜的滲透壓，一般是2.8公斤/平方厘米。

在水壓或水壓不穩(wěn)定的地區(qū)，我們建議您一定要購(gòu)買有前段增壓泵的反滲透純水系統(tǒng)，它的工作壓力可達(dá)0.3-0.6Mpa，不受自來(lái)水壓限制，制水效率高,速度快、排濃縮水少。

反滲透技術(shù)是有效的除鹽技術(shù)，一級(jí)反滲透設(shè)備出水電阻率一般在0.05-0.5MΩ.CM.此純水系統(tǒng)產(chǎn)水品質(zhì)穩(wěn)定，是目前比較通用的純水生產(chǎn)設(shè)備，生產(chǎn)品質(zhì)基本滿足FPC/PCB生產(chǎn)需求。

②EDI電除鹽超純水系統(tǒng)

連續(xù)電除鹽(EDI, Electro deionization或CDI, continuous electrode ionization)，是利用混和離子交換樹脂吸附給水中的陰陽(yáng)離子，同時(shí)這些被吸附的離子又在直流電壓的作用下，分別透過(guò)陰陽(yáng)離子交換膜而被除去的過(guò)程。

這一過(guò)程離子交換樹脂是電連續(xù)再生的，因此不需要使用酸和堿對(duì)之再生。

這種新技術(shù)可以替代傳統(tǒng)的離子交換裝置，生產(chǎn)出高達(dá)18MΩ.CM的超純水。整個(gè)工藝流程前面的部分和常規(guī)的水處理工藝沒(méi)有很大區(qū)別，一般是先經(jīng)過(guò)預(yù)處理，然后加藥殺毒，再經(jīng)過(guò)RO反滲透系統(tǒng)，再使用EDI設(shè)備制取超純水。

電子芯片超純水設(shè)備優(yōu)點(diǎn)：

半導(dǎo)體芯片用水主要在于前端晶棒硅切片冷卻用水，基板晶圓片檢測(cè)清洗用水，中段晶圓片濺鍍、曝光、電鍍、光刻、腐蝕等工藝清洗，后段檢測(cè)封裝清洗。LED芯片主要是前段在MOCVD外延片生長(zhǎng)用水，中段主要在曝光、顯影、去光阻清洗用水，后段檢測(cè)封裝用水。同時(shí)，半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)TOC的要求較高。

電子芯片超純水設(shè)備特點(diǎn)介紹：

由于超純水設(shè)備的工藝是根據(jù)不同的入水水質(zhì)和出水要求而設(shè)計(jì)的，針對(duì)不同的原水水質(zhì)特點(diǎn)而設(shè)計(jì)超純水設(shè)備方案才是經(jīng)濟(jì)有效的方案，同時(shí)也是出水水質(zhì)長(zhǎng)期穩(wěn)定達(dá)到要求的保證。超純水設(shè)備由于用途不一樣，會(huì)有不同的制造流程，或有的把幾種工藝結(jié)合起來(lái)讓水質(zhì)達(dá)到預(yù)期的效果，按類別可大至分為以下幾種，比較常用的預(yù)處理系統(tǒng)，反滲透系統(tǒng)， EDI電除鹽超純水系統(tǒng)，精處理系統(tǒng)等。

EDI電除鹽超純水系統(tǒng)原理及特點(diǎn)：

(1)出水水質(zhì)具有穩(wěn)定性

(2)能連續(xù)生產(chǎn)出符合用戶要求的超純水

(3)模塊化生產(chǎn)，并可實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)控制

(4)不需酸堿再生，無(wú)污水排放

(5)不會(huì)因再生而停機(jī)

(6)無(wú)需再生設(shè)備和化學(xué)藥品儲(chǔ)運(yùn)

(7)設(shè)備結(jié)構(gòu)緊湊，占地面積小

(8)運(yùn)行成本和維修成本低

(9)運(yùn)行操作簡(jiǎn)單，勞動(dòng)強(qiáng)度低

醫(yī)用純化水解決方案

2020版藥典要求：

2020版藥典對(duì)純化水水質(zhì)有著嚴(yán)格要求，其相關(guān)規(guī)定如下：

1)總體性狀要求：本品為飲用水經(jīng)餾法、離子交換法、反滲透法或其他適宜的方法制得的無(wú)色、無(wú)臭，無(wú)味的澄清液體，不含任何添加劑。

2)可量化指標(biāo)：電導(dǎo)率 ≤2μS/cm (電阻率≥0.5 MΩ.CM)

3)其他檢驗(yàn)指標(biāo)：

GMP認(rèn)證要求：

1、結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)應(yīng)簡(jiǎn)單、可靠、拆裝簡(jiǎn)便。

2、為便于拆裝、更換、清洗零件，執(zhí)行機(jī)構(gòu)的設(shè)計(jì)盡量采用的標(biāo)準(zhǔn)化、通用化、系統(tǒng)化零部件。

3、設(shè)備內(nèi)外壁表面，要求光滑平整、無(wú)死角，容易清洗、滅菌。零件表面應(yīng)做鍍鉻等表面處理，以耐腐蝕，防止生銹。設(shè)備外面避免用油漆，以防剝落。

4、制備純化水設(shè)備應(yīng)采用低碳不銹鋼或其他經(jīng)驗(yàn)證不污染水質(zhì)的材料。制備純化水的設(shè)備應(yīng)定期清洗，并對(duì)清洗效果驗(yàn)證。

5、注射用水接觸的材料是低碳不銹鋼或其他經(jīng)驗(yàn)證不對(duì)水質(zhì)產(chǎn)生污染的 材料。制備注射用水的設(shè)備應(yīng)定期清洗，并對(duì)清洗效果驗(yàn)證。

6、純化水儲(chǔ)存周期不宜大于24小時(shí)，其儲(chǔ)罐宜采用不銹鋼材料或經(jīng)驗(yàn)證無(wú)毒，耐腐蝕，不滲出污染離子的其他材料制作。保護(hù)其通氣口應(yīng)安裝不脫落纖維的疏水性除菌濾器。儲(chǔ)罐內(nèi)壁應(yīng)光滑，接管和焊縫不應(yīng)有死角和沙眼。應(yīng)采用不會(huì)形成滯水污染的顯示液面、溫度壓力等參數(shù)的傳感器。對(duì)儲(chǔ)罐要定期清洗、消毒滅菌，并對(duì)清洗、滅菌效果驗(yàn)證。

7、制藥用水的輸送

1)純化水和制藥用水宜采用易拆卸清洗、消毒的不銹鋼泵輸送。在需用壓縮空氣或氮?dú)鈮核偷募兓妥⑸溆盟膱?chǎng)合，壓縮空氣和氮?dú)忭殐艋幚怼?/span>

2)純化水宜采用循環(huán)管路輸送。管路設(shè)計(jì)應(yīng)簡(jiǎn)潔，應(yīng)避免盲管和死角。管路應(yīng)采用不銹鋼管或經(jīng)驗(yàn)證無(wú)毒、耐腐蝕、不滲出污染離子的其他管材。閥門宜采用無(wú)死角的衛(wèi)生級(jí)閥門，輸送純化水應(yīng)標(biāo)明流向。

3)輸送純化水和注射用水的管道、輸送泵應(yīng)定期清洗、消毒滅菌，驗(yàn)證合格后方可投入使用。

8、壓力容器的設(shè)計(jì)，須由有許可證的單位及合格人員承擔(dān)，須按中華人民共和國(guó)標(biāo)準(zhǔn)《鋼制壓力容器》(GB150-80)及"壓力容器安全技術(shù)監(jiān)察規(guī)程"的有關(guān)規(guī)定辦理。

系統(tǒng)特點(diǎn)：

1、純化水系統(tǒng)采用全自動(dòng)方式控制，主要元件采用進(jìn)口元件，穩(wěn)定性高，操作簡(jiǎn)單方便;

2、采用進(jìn)口海德能低壓膜，運(yùn)用雙極反滲透工藝，脫鹽率高，出水水質(zhì)穩(wěn)定，性能可靠，確保系統(tǒng)穩(wěn)定運(yùn)行。

3、純化水采用全不銹鋼配置，各連接部分采用焊接，均采用雙面成型保護(hù)焊接工藝、管道內(nèi)壁做鈍化處理，杜絕使用絲牙連接方式，確保安全、規(guī)范、整潔、美觀。

4.、運(yùn)用德國(guó)進(jìn)口的自動(dòng)焊機(jī)，全自動(dòng)一面焊雙面成型焊接工藝，并提供各管道焊接編碼記錄、內(nèi)窺鏡檢測(cè)照片，讓客戶安全放心。

5、設(shè)計(jì)、制造、加工、安裝、調(diào)試一體化，安裝期間委派專業(yè)工程師現(xiàn)場(chǎng)講解設(shè)備操作、運(yùn)行、注意事項(xiàng)等。

6、采用PLC結(jié)合人機(jī)界面全自動(dòng)控制，觸摸屏一鍵式啟動(dòng)，操作簡(jiǎn)單方便，畫面清晰，精致美觀。

7、觸摸屏、開關(guān)、儀器、儀表設(shè)立適合的高度位置，方便人工操作;手動(dòng)、自動(dòng)模式轉(zhuǎn)換快捷安全，并具備提醒功能，防止失誤操作對(duì)系統(tǒng)產(chǎn)生影響。

8、配備有原水箱、中間水箱，配備液位器裝置，可防止因自來(lái)水壓力不穩(wěn)定對(duì)設(shè)備造成影響

9、純化水專用無(wú)菌純化水箱，配備壓力式液位計(jì)，旋轉(zhuǎn)噴淋清洗及空呼吸裝置;壓力關(guān)鍵點(diǎn)設(shè)立無(wú)水、低壓、超壓、等多重保護(hù)安全功能;

10、觸摸屏對(duì)水泵、閥門、水罐液位、設(shè)有動(dòng)態(tài)動(dòng)畫監(jiān)控畫面，當(dāng)遇到濾材更換周期到、滿水、缺水、低壓、超壓在觸摸屏事件記錄欄會(huì)記錄，當(dāng)遇到水質(zhì)、壓力、流量出現(xiàn)異常會(huì)發(fā)出報(bào)警。

11、配備有PH調(diào)節(jié)及在線檢測(cè)系統(tǒng)，并設(shè)有取樣點(diǎn)，方便隨時(shí)能檢測(cè)水質(zhì);

12、配備有UV紫外線及臭氧殺菌器，位于臭氧之后的254nm紫外燈可同時(shí)用于消毒和清除臭氧的殘留，徹底殺菌，防止細(xì)菌對(duì)水質(zhì)的影響;并對(duì)純化水電導(dǎo)率實(shí)施實(shí)時(shí)的監(jiān)控，保持1m/s以上的流速，以減少純化水管網(wǎng)微生物滋生的可能性。

13、在純化水系統(tǒng)中的預(yù)處理系統(tǒng)、制水系統(tǒng)和用水系統(tǒng)分別設(shè)有循環(huán)水路，各級(jí)水質(zhì)區(qū)段設(shè)定合格水與不合格排放到前一段的功能，確保水質(zhì)穩(wěn)定安全。(若5分鐘內(nèi)恢復(fù)水質(zhì)合格，在觸摸屏上記錄欄記錄，超過(guò)時(shí)間不恢復(fù)發(fā)出報(bào)警)

14、為了實(shí)現(xiàn)各區(qū)段無(wú)死角，若純化水罐滿水后2兩小時(shí)無(wú)波動(dòng)，會(huì)觸發(fā)整個(gè)系統(tǒng)循環(huán)，防止管道長(zhǎng)時(shí)間不流動(dòng)滋生微生物。

15、設(shè)水質(zhì)糾偏功能，有水質(zhì)預(yù)警功能，永遠(yuǎn)不會(huì)出現(xiàn)緊急的狀態(tài)。

16、配備有純化水輸送供水系統(tǒng)，并且把制水系統(tǒng)與供水系統(tǒng)分開控制，如遇更換耗材，可不必停止供水或者制水。

17、RO產(chǎn)水、沖洗時(shí)間可設(shè)定，當(dāng)用水高峰期，可調(diào)節(jié)產(chǎn)水時(shí)間，使用水點(diǎn)穩(wěn)定用水。

18、主要電器元件采用法國(guó)施耐德，保質(zhì)保量，并按合適的配置設(shè)計(jì)。

19、安裝管線橫平、豎直，美觀大方、電纜橋架牢固可靠。

20、核心部件(如反滲透膜、高壓水泵、無(wú)菌水箱)，均會(huì)要求顧客現(xiàn)場(chǎng)記錄型號(hào)并查閱其真實(shí)性。

應(yīng)用行業(yè)：

1、制備注射用水的水源

2、非無(wú)菌藥品直接接觸藥品的設(shè)備、器具裝材料后一次洗滌用水

3、注射劑、無(wú)菌藥品瓶子的初洗

4、非無(wú)菌藥品的配料

5、非無(wú)菌藥品原料精制

6、注射劑、無(wú)菌沖洗劑配料

7、無(wú)菌原料藥精